Нидерландская компания ASML — монополист на рынке литографических сканеров для производства полупроводников — обновила информацию о пожаре на своём берлинском заводе. Окончательных выводов по происшествию пока нет, они будут обнародованы позже, но главное уже выяснено и это заставляет тревожиться о темпах перехода на новейшие техпроцессы. Пожар частично повредил производственные участки по изготовлению оборудования для сканеров диапазона EUV.

На сегодняшний день компания заявляет, что планы по выпуску продукции для метрологии и инспекции (для оборудования по тестированию качества пластин, компонентов и производственного оборудования) не пострадали, поскольку берлинский завод не выпускает комплектацию для этой продукции.

Производство компонентов для сканеров DUV было возобновлено. Хотя в производстве компонентов для сканеров DUV произошли некоторые сбои, компания ожидает, что они будут устранены и не повлияют ни на план выпуска, ни на доходы.

В плане производства компонентов для сканеров EUV пожар затронул часть производственной зоны по изготовлению держателей кремниевых пластин в установках EUV. Этот участок пока не восстановлен и не возвращён в работу. Планы по минимизации ущерба для производства сканеров и по обслуживанию клиентов на местах разрабатываются.

Дополнительную информацию о происшествии компания надеется представить 19 января во время оглашения результатов работы в предыдущем квартале. Поскольку это будет влиять на производственные планы ASML на новый 2022 год, следует ожидать исчерпывающей информации.